晶圆切割机:硬脆材料划片机的工艺参数研究!(晶圆切片厂)

admin3个月前数控切割47

  硬脆材料划片的实现依赖于锐利的金刚石刀片和高精度、高刚性的划片装置,以及高精度的空气静压主轴等来实现在了解硬脆材料的性能和划片机理的基础上,作为设备制造厂家对硬脆材料划片工艺的研究,就显得十分必要和紧迫,对工艺参数的研究和优化,能够支持设备及半导体行业的发展。

砂轮划片机的划片质量和划片效率,与划片工艺参数有十分密切的关系.在划片硬脆材料中,划切道宽度与崩边的大小,主要是受主轴转速、刀片、划片速度、划片深度、冷却方式等工艺参数的影响所以本研究主要是研究工艺参数***佳化,从划片质量、划片效率、刀片磨埙以及邓命上综合考虑,得出经济适用的工艺参数。

  具体研究内容包括以下几个方面:   ( 1)砂轮划片机划切性能的研究   ( 2)金刚石砂轮刀片的特性分析研究   ( 3)划片工艺参数主轴转速、划片速度、划片深度和冷却流量等对划片影响的研究   ( 4)采用田口实验法,用正交实验对多种可控因素进行定量研究,对实验数据进行处理,得到优化的工艺参数,并进行实验验证。

  ( 5)设备的功能完善和改进,使设备更好地满足工艺要求。

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